最適化された冷却コンセプト！逆マグネット配列（インバート）も提供可能
『マグネットバー』は、優れた磁場均一性を有する回転式マグネトロン用 コンポーネントです。 開発では、ターゲットの浸食、層の均一性、プロセスの安定性、そして アプリケーションに応じた磁場の強さに焦点を当てています。 さまざまなエンドブロックにも対応。当製品は幅広い範囲の磁場強度と長さで お求めになれます。また品質管理のため、社内設備で検査を実施しています。 【特長】 ■成膜均一性の最適化 ■高いターゲット利用効率 ■全基板幅にわたり、均一な薄膜特性 ■プロセス電圧の低減 ■最大プロセス電力（ターゲット材料とボンディングにより制限） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【メリット（抜粋）】 ■優れた磁場均一性 ■レーストラックの最適リターン設計と様々な種類のエンドキャップ ■±15°～±60°のスパッタ角度 ■逆マグネット配列（インバート）も提供可 ■最適化された冷却コンセプト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【実績例】 ■2000基以上のマグネットバーを納入 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
