シールされた冷却チャンネル！標準WSM＆SSMボディーやPLANAR XTボディをご用意
当社ではハイエンドテクノロジーアプリケーション向けに平板型マグネトロンを 提供しています。 様々な種類のアプリケーション向けに当社はこれまで350基以上の大型平板型 マグネトロンを販売。改造、そして新しい製膜装置への応用にご使用ください。 さらに、ポンプ搭載型、非搭載型のプロセスリッドを完全組立て提供します。 本製品シリーズは、WSM、高効率平板型マグネトロンHU-WSM、および大規模 エリアの平板型アプリケーション向けPlanar XTと小規模エリア向けSSMと HU-SSMの3種類のマグネトロンで構成されています。 【特長】 ■標準WSM＆SSMボディー ・シンプルなターゲット設計 ・WSMでターゲット利用率30%（30mm Agの場合、4500kWh） ・製膜均一性 <±1.0% ■高利用効率平板型HU-WSM＆HU-SSMボディー ・ターゲットライフタイム6000kWh（30mm Agの場合） ・ターゲットライフタイムの長期化 ・ターゲット利用効率向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■PLANAR XTボディー ・ターゲット利用効率 >40 % ・ターゲットライフタイム全体で優れた製膜均一性を発揮 ・ターゲット設計により製造が単純で簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【実績例】 ■様々な種類のアプリケーション向けに350基以上の大型平板型マグネトロンを販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。