ポンプ内臓プロセス リッドを提供！お客様の要件に適応する設計コンセプト
当社のコンポーネントは、ドロップインのマグネット リッドまたは広範囲の アプリケーションに対応した側面取り付けプロセスユニットとして、 パッケージでも使用可能です。 ノズルまたはバイナリーチャンネルとして、シングルまたはマルチセグメントの ガス導入設計。様々な磁界設計とエンドブロックタイプのツールボックスです。 お客様のプロセスのニーズに応じたガス導入設計。アプリケーション依存の セットアップが制限なく可能です。 【特長】 ■アプリケーションのさまざまな分野で、現場実証済みのテクノロジー ■ポンプ内臓プロセス リッドを提供 ■様々な種類のアプリケーションに対応した幅広い範囲の平板型および 回転型カソード設計 ■ノズルまたはバイナリーチャンネルとして、シングルまたはマルチセグメントの ガス導入設計 ■水平、垂直およびR2R製膜アプリケーションの高温プロセス条件に対応した マルチアノードソリューションとマグネトロン設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【メリット（抜粋）】 ■お客様の要件に適応する設計コンセプト ■省スペースの設置または異なるプロセスの分離 ■DCからパルスDC、パルスAC、バイポーラおよびRFまでのプロセスセットアップ ■お客様のプロセスのニーズに応じたガス導入設計 ■アプリケーション依存のセットアップが制限なく可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。