新しいレシピへの調整時間の短縮！ツールは製膜システムの生産性向上に貢献
『VA プロセスマスター』は、自動化されたプロセス設定、そしてすべての 薄膜システムを制御するためのツールです。 プロセス制御において新手法を採るこのツールは、オペレーターの関与無しに 優れた結果をもたらします。 また、スパッタリングプロセスの完全自動ドリフト補正を可能にし、製品品質を 向上。さらに、このツールは当社のお客様が魅力的な製品のために複雑な レシピを作成することを可能にします。 【特長】 ■インライン測定の解析 ・薄膜膜厚の平均値と均一性の値 ■クローズループ制御 ・プロセス電源出力 ・反応性ガス供給 ・マグネットバー（シム設定） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【メリット（抜粋）】 ■主観的な判断の代わりに挙動を客観的に予測 ■恒久的アクション ・閾値違反を待つ代わりに偏差がゼロに保持 ・開始時に「鋸歯状」の軌跡を描かない ■全体概要 ・すべてのマグネトロンの同時制御 ・同時平均値（出力）とバランス制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■自動化されたプロセス設定、そしてすべての薄膜システムを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
