空気中と水中でSi基板上のSiO2膜（シリコン酸化膜）を測定！薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触水中膜厚計です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 空気中と水中でSi基板上のSiO2膜（シリコン酸化膜）を測定でき、 薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【オプション構成例】 ■多層解析：2～10層までの解析も可能 ■薄膜解析（カーブフィット法）：カーブフィット解析により薄い膜を解析 ■色度解析：反射・透過で色度解析を行う ■成分濃度解析：お客様自身で任意の膜成分を測定・登録することにより、多成分解析が可能 ■顕微鏡オプション ■自動マッピングオプション ■多ポイント同時測定オプション（3CH用）
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用途／実績例
【用途】 ■膜厚測定 ■フィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
これからは多岐にわたってさまざまな分野の技術が、いろいろなところで活かされることが求められると考えております。 そのためにシステムロードは研究、開発、生産の分野においてさまざまなシーンにお応え出来るよう努力してまいります。 光・エレクトロニクス・メカトロニクス・ソフトウェアを融合させて「照明」・「素材」・「医薬」を軸に幅広い研究、開発、生産の分野に貢献していきたいと思っております。
