納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！大気圧ピラニ真空計
当社で取り扱う『実験用真空チャンバー』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレス、チャンバー容量は約58L。空冷式ドライ 真空ポンプを搭載しております。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■チャンバーサイズ：Φ10B×高さ1200mm ■チャンバー容量：約58L ■到達真空度：10Pa以下 ■真空ポンプ：空冷式ドライ真空ポンプ ■排気ポート：1ヶ所 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の仕様】 ■真空測定用：ポート1ヶ所 ■ビューポート(覗き窓)： 3ヶ所 ■ベントポート：1ヶ所 ■予備ポート：1ヶ所 ■真空計：大気圧ピラニ真空計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
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企業情報
当社では、CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、 加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の 要望に合わせて装置を設計、製造致します。 また、CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。 a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
