ウェーハマッピング装置、ロボット搬送付き、多機能200x200mm、RD8シリーズ ウェハ PL
ウェーハマッピング装置RD8シリーズは最大測定面積200×200mmまでの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれており、お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。
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基本情報
【仕様】 ○基本型式：YWAFER-RD8-WL26、YWAFER-RD8-WL48 ○光学範囲および感度型式一覧： 200nm - 2200nm ○測定対応ウェーハサイズ：２，３，４，６，８インチその他（200x200mmまで） ○マッピング間隔：0.01mm～(0.02mm繰り返し精度) ○ロボット搬送：25枚カセットｘ２ ○搬送対応ウェーハサイズ：2～6インチ又は4～8インチ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
価格情報
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納期
※3～4ヶ月
用途／実績例
●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
企業情報
有限会社ワイ・システムズは、LEDの主な材料となる窒化物系ウェーハ（基板）の評価・測定装置の開発、製造、販売を行う会社です。現在13人ですが、弊社ブランドは国際的に評価され、徐々に規模を広げています。LEDをはじめ光半導体関連の研究開発が盛んな徳島でベンチャー企業として創業して以来20年、現在は国内のみならず、台湾、韓国、中国、ヨーロッパなどのLEDやレーザーダイオード、光学材料のメーカーと研究機関向けに装置を販売しています。今後も光半導体関連装置の開発に取り組み、グローバルに“ ワイ・システムズ” のブランドを日本から発信していきます。
