CMPスラリーをCMPスラリーとして再生することができることをご存じでしょうか？
CMPスラリーをCMPスラリーとして再生することができることをご存じでしょうか？ 再生時に分離される水分は、元々工場で使用された超純水であり、再び超純水製造の原水として回収・再利用できることをご存じでしょうか？ CMPスラリーリサイクルやCMPスラリーを含む廃水の処理でお困りでしたら、是非 当社にご相談ください。
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基本情報
近年の半導体製造では必須の技術となっているCMP（化学機械研磨）。この工程で使用されているCMPスラリーは大量に廃棄されています。当社では半導体工場から排出される使用済みのCMPスラリーを回収し、新品と同じ性質に再調整して半導体工場にお戻しする、リサイクルを行っております。 また、CMPスラリーを含む廃水の処理設備、CMPスラリーのリサイクルに伴い排出される水分の再利用設備なども取り扱っております。
価格帯
納期
用途／実績例
多くの国内半導体工場様にて採用実績がございます。再生されたCMPスラリーは、再生を繰り返すことで永年的に使い続けることが可能であり、10年近くも再生品納入を続けている例もございます。
企業情報
株式会社MFCテクノロジーは、来るべき水素・燃料電池社会に向けて燃料電池セル構成には欠かせないガス燃料電池部材、IoT社会で数多く使用される半導体チップの製造に関わるケミカルフィルター、およびCMPスラリーといった半導体製造装置用部材を取り扱っております。