棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用！パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富
当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』を ご紹介します。 自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用（超低発塵機構、絶対値 制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能 ■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富 ■お客様のホストコンピューターとのリンクも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（一部）】 ■清浄度 ・レチクル保管部：ISOクラス3（クラス1） ・レチクル移動部：ISOクラス4（クラス10） ■集塵要素（メインフィルター）：ULPAフィルター ■集塵効率：0.1μm粒子にて99.999％以上 ■処理風量：約160m3/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
日本で唯一のクリーンエアーシステム専門メーカーとして、 総合的な製品群と専門性の高い技術力を強みに、クリーン関連製品をグローバルに提供しています。 ■長年の技術を基盤にした確かな技術力と国内２年保証 ■グローバルな対応もお任せください！ ■幅広い業種とご要望に対応する豊富な製品群があります
