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最終更新日:2023年06月09日

バキュームプロダクツ株式会社
バキュームプロダクツ株式会社
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圧力単位はPa、Torr、mbarの中から任意に選択!広範囲の圧力測定が可能

『クリスタルゲージ』は、1つのゲージヘッドで8桁の圧力測定が可能です。 表示部は液晶表現を採用、圧力はデジタル(仮数部3桁、指数部1桁)と アナログ(30セグメント棒グラフ)を同時表示。 また、温度補償、アナログ出力の選択、校正、気体単位の選択、 セットポイント、リークテスト及びセンサー温度表示等の機能は フロントパネルからアクセス可能です。 【特長】 ■1つのゲージヘッドで0.01x10^-1~1.33x10^5Paの8桁の圧力測定が可能 ■マイクロプロセッサにより校正曲線を算出、各種気体の圧力を直読可能 ■2つの不揮発性セットポイントを標準装備(オプションで6点まで可能) ■リークテスト機能により1x10^-5atm・cc/sec以上のリークを検出 ■ゲージヘッドは小型・軽量で取付位置の制限なし ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリスタルゲージ.PNG

クリスタルゲージ

クリスタルゲージ.PNG
クリスタルゲージ.PNG
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基本情報

【仕様(一部)】 ■使用可能温度:5~50℃ ■セットポイント:2接点出力 ■測定ガス:N2/O2/Ar/Air ■入力電源:100±10V(50/60Hz) ■質量:180g(sensor head)/1.7kg(control unit) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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バキュームプロダクツ株式会社

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真空機器のオーダーメイド対応 『お客様仕様に合わせた一貫対応で、最適なソリューションを提供』 ● 真空装置・部品をお客様の用途・要望に応じてフルカスタム設計 ● 商談~設計~製造~納品までワンストップ対応 ● コスト・納期・性能・品質すべてを考慮した最適提案 真空コンポーネントの多品種ラインナップ 『約40種類のコンポーネントを取り揃え、柔軟な構成に対応可能』 ● 真空計、マニピュレータ、導入機、各種ステージ、電流導入端子などを幅広くご用意 メンテナンスサポート 『長期的な運用を見据えたアフターサービスを提供』 ● 装置や部品の定期的なアフターサービスの実施 ● 故障・トラブル予防、部品交換、機器改造などニーズに応じたメンテナンス 製品ラインナップ ・半導体(熱CVD装置、真空アニール装置、スパッタ装置、PLD装置など)・光電子分光(ARPES、XPS、PEEM、HiPP など)・宇宙(スペースチャンバーなど)・コンポーネント(マニュピュレータ、直線導入機/回転導入機、XYステージ、XYZステージ、トランスファロッドなど約40種類)・測定機器(水晶式隔膜真空計など)

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