放電の停止による制御出力の誤動作をなくした安全な設計！複合型広帯域真空計のご紹介
『水晶・ペニング冷陰極真空計』は、大気圧から超高真空までを一つの ゲージヘッド・コントローラーで測定可能です。 水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに 変化することを利用した水晶真空計と、磁場中の冷陰極放電電流が 圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を一つのゲージヘッド、 一つのコントローラに組込んでいます。 高い圧力での電極の汚染が少なく、また放電の停止による制御出力の 誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。 【特長】 ■大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定可能 ■ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10^-2Torr以下で印加されるため、 高い圧力での電極の汚染が少ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品仕様（一部）】 ■測定範囲：760～1×10^-8Torr ■真空度表示：アナログ ANALOG ■外部出力：0～10V ■測定用ケーブル：3m/Max100m ■入力電力：AC 100V±10％ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
真空機器のオーダーメイド対応 『お客様仕様に合わせた一貫対応で、最適なソリューションを提供』 ● 真空装置・部品をお客様の用途・要望に応じてフルカスタム設計 ● 商談～設計～製造～納品までワンストップ対応 ● コスト・納期・性能・品質すべてを考慮した最適提案 真空コンポーネントの多品種ラインナップ 『約40種類のコンポーネントを取り揃え、柔軟な構成に対応可能』 ● 真空計、マニピュレータ、導入機、各種ステージ、電流導入端子などを幅広くご用意 メンテナンスサポート 『長期的な運用を見据えたアフターサービスを提供』 ● 装置や部品の定期的なアフターサービスの実施 ● 故障・トラブル予防、部品交換、機器改造などニーズに応じたメンテナンス 製品ラインナップ ・半導体（熱CVD装置、真空アニール装置、スパッタ装置、PLD装置など）・光電子分光（ARPES、XPS、PEEM、HiPP など）・宇宙（スペースチャンバーなど）・コンポーネント（マニュピュレータ、直線導入機/回転導入機、XYステージ、XYZステージ、トランスファロッドなど約40種類）・測定機器（水晶式隔膜真空計など）
