半導体関係で使用されている部品の補修・製作を行っています。
部品の修理、再生、延命、メンテナンスに心がけ予防医療の様に部品の高品質化、耐磨耗、耐熱、防触等の機械の高度化を目的とする研究開発を行っている光栄テクノシステム社『半導体製造装置部品の修理・再生』のご案内です。 【半導体関係で使用されている部品の補修・製作】 ●受入（補修・新規） ●溶射被膜除去（旋盤加工） ●セラミック皮膜を付ける（セラミック溶射） ●溶射皮膜を整える（研削加工）/ 最終仕上げ（ラッピング処理） 【その他半導体関連部品修理】 ●その他の部品修理 部品修理例 ⇒写真2 ・乾燥装置表面への耐食、耐摩耗溶射加工（HVOF溶射） ・半導体に使用している原料の研削加工 ・スクリーンへのWC－Co HVOF溶射 ・装置壁面、内壁 HVOF溶射 ・半導体用スパッタリングターゲットへの溶射 ・電気炉発熱体電極部への溶射
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※その他詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。 【その他参考ページ】 ■高速フレーム溶射（HVOF溶射） ■プラズマ溶射
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当社はあらゆる産業の機械や装置部品の『病院』です。 部品の修理、再生、延命、メンテナンスに心がけ予防医療の様に部品の高品質化、耐磨耗、耐熱、防触等の機械の高度化を目的とする研究開発の会社です。 私たちは、いつもお客様のニーズにお応えできるよう<迅速・確実・丁寧>をモットーに設計、製作、アフターサービスまで一貫体制で努めています。 この度、ISO 9001:2015 認証取得いたしました。 お気軽にいつでもご相談下さい。
