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最終更新日:2023年06月21日

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薄膜成長を調節!リアルタイムでのプロセスモニタリングのための診断ツールをご提供

『High-Pressure Reflection High-Energy Electron Diffraction(RHEED)』は、 高圧反射高エネルギー電子回折です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節します。 【特長】 ■振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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