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半導体製造装置 フランジ、バルブ、ボディ、に高耐食性アルマイト 

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最終更新日:2023年08月24日

中国電化工業株式会社
中国電化工業株式会社
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高耐食性アルマイトのヤギマイトは,コスト削減と内部の腐食を減少!発生するパーティクルが抑えられます!

1.皮膜の表面に1μm程度の緻密層を形成しています。 2.緻密層は孔表面を塞ぐカバーの役割を持っており、半導体製造装置内でのエッチングガスや腐食性を持つ溶液から皮膜を守ります。 3.シュウ酸アルマイト(弊社処理)の約5倍の耐食性です。 4.封孔度に優れているので、アルマイト後も、質量減はありません。 5.塩酸浸せきにシュウ酸アルマイト(弊社処理)の400倍以上の耐食性があります。 6.耐プラズマ性に優れているため、シュウ酸アルマイト(弊社処理)に比べて、エッチング量が10%以上少なくて済みます。 【特長】 ■耐久性の向上 ■コスト削減 ■内部の腐食を減少 ■発生するパーティクルが抑えられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造装置 フランジ、バルブ、ボディ、に高耐食性アルマイト 

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基本情報

【ヤギマイト加工 特長】 ■微細孔内部及び上層1μm厚に、水和酸化物層が生成されている ■耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐蝕性 ■封孔度に優れており、質量減はない ■従来のアルマイト皮膜より耐プラズマ性が1.3倍向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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■ 半導体製造装置等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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中国電化工業株式会社

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中国電化工業株式会社は、山口から未来のテクノロジーに挑戦するグローバルカンパニーです。 アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 独自の技術で、半導体製造装置に使用されるアルミニウムへの表面処理を得意としています。 常にカーボンニュートラルを意識し、汚染防止に最善を尽くし、地球環境の保護・保全に努めています。

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