200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。
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基本情報
外皮；シリコンコーテッドガラスクロス（白） 内皮；焼成済みガラスクロス（白） 発熱線；二重絶縁ニクロム線 細配管用K熱電対；SUSクリップ止め 温調もご要望により行います。PID制御可能 ３D CADデーターをお送り頂くと、見積、作製致します。
価格情報
オーダーメイド、代表的価格 40,000円/m
納期
用途／実績例
ALD、CVD、PVD薄膜装置向けヒーター 200℃加熱可能、省エネ、安全、安心なヒーターです。 安全装置250℃サーモスタット付 ３D CADデーターご提供頂くか、アイソメ図ご提供頂ければ、見積作製可能です。 温度制御（PID)についてもご相談下さい。
企業情報
当社は、配管用ヒーターとファインセラミックスを製造しています。 配管ヒーターはガラスクロス等の無機材を使用し、縫製しています。 また、社内に焼成行程を持ち、板材などのファインセラミックス素材を ご提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。