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最終更新日:2023年09月21日

三菱ケミカル株式会社 コンポジットパーツ本部 Asia事業部
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ピッチ系CFRP製の『半導体ウエハ搬送ハンド』は、軽量、たわみが小さい、振動減衰が速い、導電性が高い、といった特徴があります!

『ピッチ系CFRP』は軽量・高剛性の特長があり、ウエハ搬送ハンドの軽量化や、荷重たわみの低減を可能とします。 また、ピッチ系CFRPを使用したウエハ搬送ハンドは振動減衰が速く、装置のタクトタイム短縮に貢献しています。 【ウエハ搬送ハンドにCFRPを使用するメリット】 ■比弾性率(弾性率÷重量)が大きく、ハンドの軽量化・薄肉設計・たわみ低減が可能 ■振動減衰性に優れ、高速駆動・タクトタイム短縮が可能 ■導電性を高めることで、帯電防止が可能 【よくあるニーズ】 ■装置内のスペースが狭いので、ハンドの厚みを薄く、たわみを小さくしたい ■ワークの重量が重くなるので、ヤング率の高い材料を採用したい ■高速で駆動したいので、ハンドの軽量化が必要 ■タクトタイム短縮のために、ハンドの振動を速く抑えたい 【三菱ケミカルでできること】 炭素繊維やプリプレグの製造、販売だけでなく、これらの材料を用いた製品設計が可能です。 また、成形・加工・組立・コーティング・検査まで一貫して対応できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ピッチ系CFRP『半導体ウエハ搬送ハンド』紹介

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三菱ケミカルは、PAN系・ピッチ系の両方の炭素繊維を製造する世界有数の炭素繊維複合材料メーカーです。 PAN系はアクリル繊維を原料とし、ピッチ系は石炭をベースとする炭素繊維です。当社では炭素繊維を出発点に、プリプレグやファブリックなどの中間材料、成形品まで自社で手掛けております。 炭素繊維を樹脂で固めたCFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics)は、従来の金属材料やセラミクスにはない優れた特性により、スポーツ・レジャー用途をはじめ産業、航空・宇宙、建築などその用途を広げています。 当社は、炭素繊維複合材料に関連する多様な技術と幅広い知見を保有しており、お客様のニーズにマッチした材料、最適な設計のご提案が可能です。 また、量産時のボリュームや品質・価格目標に応じて、供給体制を検討することにより、最適なソリューションをご提案いたします。

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