クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。 【特長】 ■アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能 ■様々なバリエーション、カスタム対応 ■200mm/300mm兼用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品概要(抜粋)】 ■搬送対象：300mmウェーハ(径：φ300±0.2mm、厚み：775μm) ■キャリア ・300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) ・300mm FOSB 25段(SEMI M31) ■電源電圧：単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% ■消費電流：4kVA(20A/200VAC)FFUを含む ■真空(元圧)：-80kPa～-90kPa ■真空(流量)：40L/min、50L/min ■正圧(元圧)：0.6MPa～0.7MPa ■正圧(流量)：20L/min、30L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
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企業情報
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。