ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。
「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。
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基本情報
以下のモデルがございます。 型式 DC-出力 パーツ番号 GS 05/800 0.5 kW 800 V 0.9 A 03Z040 GS 10/800 1.0 kW 800 V 1.7 A 03Z090 GS 15/800 1.5 kW 800 V 3.0 A 03Z140 GS 20/800 2.0 kW 800 V 3.5 A 03Z190 GS 30/800 3.0 kW 800 V 5.3 A 03Z240 GS 05/1000 0.5 kW 1000 V 0.7 A 03Z050 GS 10/1000 1.0 kW 1000 V 1.4 A 03Z092 GS 15/1000 1.5 kW 1000 V 2.4 A 03Z150 GS 20/1000 2.0 kW 1000 V 2.8 A 03Z200 GS 30/1000 3.0 kW 1000 V 4.2 A 03Z250 GS 12/2000 1.2 kW 2000 V 1.0 A 03Z110
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
研究開発用や小型スパッタ装置用電源
企業情報
スパッタリング装置に頻繁に用いられる、ロータリーカソードのリーディングカンパニー、米国・Sputtering Components Inc、通称SCI社の、日本販売拠点です。 SCI社の兄弟会社、米国・Process Materials Inc、通称PMI社の円筒型スパッタリングターゲットや平面ターゲットも取り扱っております。 お気軽にお問合せ頂けましたら幸いです。