ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。
「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。
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基本情報
以下のモデルがございます。 型式 DC-出力 パーツ番号 GS 05/8000.5 kW800 V0.9 A03Z040 GS 10/8001.0 kW800 V1.7 A03Z090 GS 15/8001.5 kW800 V3.0 A03Z140 GS 20/8002.0 kW800 V3.5 A03Z190 GS 30/8003.0 kW800 V5.3 A03Z240 GS 05/10000.5 kW1000 V0.7 A03Z050 GS 10/10001.0 kW1000 V1.4 A03Z092 GS 15/10001.5 kW1000 V2.4 A03Z150 GS 20/10002.0 kW1000 V2.8 A03Z200 GS 30/10003.0 kW1000 V4.2 A03Z250 GS 12/20001.2 kW2000 V1.0 A03Z110
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
研究開発用や小型スパッタ装置用電源
企業情報
スパッタリング装置に頻繁に用いられる、ロータリーカソードのリーディングカンパニー、米国・Sputtering Components Inc、通称SCI社の、日本販売拠点です。 SCI社の兄弟会社、米国・Process Materials Inc、通称PMI社の円筒型スパッタリングターゲットや平面ターゲットも取り扱っております。 お気軽にお問合せ頂けましたら幸いです。