クリーン環境が必要な作業に合わせて、卓上タイプから大空間をスーパークリーン環境にできるフロアータイプまで、すべてがクラス1を実現
オープンクリーンシステムなら、囲わなくてもクラス1のクリーン空間！ 囲わないため対象物が確認しやすく、作業性を損ないません。 短時間でクリーン化：数分でクラス1の環境を形成。 短い工期で導入可能：建屋を造る必要が無く、建設コストも削減、将来的なレイアウト変更に合わせた移設・拡張も可能。
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基本情報
テーブルコーチ：清浄空間 700mm以内（開口面間距離）、吹き出し風速約0.4ｍ/s スタンドコーチ：清浄空間 2300mm以内（テーブル有りの場合）、1800ｍｍ以内（テーブル無しの場合）、吹き出し風速約0.5ｍ/s フロアコーチ：清浄空間 20m以内（開口面ー衝突壁間距離）、吹き出し風速0.3m/s
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体・電子：集積回路、エッチング、蒸着、研磨工程、レンズ。品質検査、プリント基板 ・精密加工：金型鏡面磨き工程、組立工程、梱包、精密溶接 ・食品：培養、発酵、醸造、成分分析時のコンタミネーション対策 その他クリーンルーム、クリーンベンチの代替として
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企業情報
IT化が加速し、より高度な技術が求められる21世紀の社会と産業において、ガスへの期待はますます広がっています。生産環境に欠かせないバルクガスから超高純度を要求される半導体・液晶用ガスまで。私たちは、生産工程の各場面で必要不可欠である多種多様なガス資源を安定かつ安全にご提供し、産業の発展を支える総合的な販売・供給体制を確立しています。