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高純度スパッタリングターゲット PRAXAIR製

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最終更新日:2023年09月08日

株式会社ウエキコーポレーション
株式会社ウエキコーポレーション
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PRAXAIR社製スパッタリングターゲットの国内総代理店として日本各地に広がったネットワークでお客様の物づくりをサポート致します

高品質を目指して PRAXAIRは広範囲な研究開発、および最高品質のスパッタリングターゲットの製造を通じて、大手サプライヤーとしての評価を得ています。 AdvanTageタンタルターゲット AdvanTageタンタルターゲットは一貫した再現可能なプロセス性能を提供します。 厚さの均一性と量産品質による再現性のあるスパッタリング成膜を実現します。高い製造技術により、均一な微細構造が生成され、初期の安定性が向上し、寿命全般にわたって一貫したスパッタ性能が得られます。 各スパッタリング装置メーカーの認定品もございます。

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高純度スパッタリングターゲット PRAXAIR製

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基本情報

主な材料・仕様 Cu : 5N, 6N Ta : 3N5, 4N5 Pure Al : 5N, 5N5 W : 5N Carbon : 5N Al alloy (AlSi 1%, AlSi 1% Cu 0.5%, AlCu 0.5%) : 5N5 Ti : 4N5, 5N Ni : 4N Ni/V : 3N5 Cr : 3N5 Co : 5N Ni/Pt : 3N5 Pt : 4N Ag : 5N Au : 5N

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用途/実績例

半導体

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IT化が加速し、より高度な技術が求められる21世紀の社会と産業において、ガスへの期待はますます広がっています。生産環境に欠かせないバルクガスから超高純度を要求される半導体・液晶用ガスまで。私たちは、生産工程の各場面で必要不可欠である多種多様なガス資源を安定かつ安全にご提供し、産業の発展を支える総合的な販売・供給体制を確立しています。

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