◆DUVフォトリソグラフィ向◆高品質な合成結晶石英基板を利用した各種コンポーネンツ◆半導体グレードの信頼性要求にも耐えうる製品群
合成結晶石英はUV波長域での高い透過性、結晶学的特性、光学的均一性、化学的な耐性、また長時間露光に対する耐久性が認められた優れた材料です。Tydex社ではクラスA1に相当する精密光学グレードの合成結晶石英を用いた各種のDUV用コンポーネントを製造しています。 DUV(深紫外)波長レーザーを用いたフォトリソグラフィー技術は半導体、ナノテクノロジーをはじめ各種の産業用途に利用され私達の生活に欠かせないものになっています。更なる高密度化／狭線幅化に伴いKrFエキシマレーザー(248nm)、ArFエキシマレーザー(193nm)が広く利用されそれら光源を取り巻く高性能な各種の光学コンポーネントへの要求が高まっています。
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基本情報
Tydex(タイデックス)社はロシア・サンクトペテルベルグに本拠を構えるオプティクス専業メーカーです。1994年にロシア科学アカデミー研究所からのスピンオフしたメンバーにより創設されました。THz(テラヘルツ)用の光学部品(ウィンドウ、レンズ、ミラー、プリズム、フィルタ、エタロン、ポラライザ、アッテネータ、波長板、スプリッタなど)や検出器(分光器、ゴレイディテクタなど)の製造販売を行っています。
価格帯
納期
用途／実績例
■DUVフォトリソグラフィー ■ナノデバイス加工
企業情報
■バーコード関連の新製品 ■レーザダイオード関連 ■光ファイバコネクタ加工を請け賜ります。 ※通信用から大口径まで短納期随時受付中！ ■超安定化LDモジュール・光源装置製作 ■各種半導体レーザの輸入販売 ■光変調器及び光周辺部品の輸入販売 ■その他、理化学機器・部品の輸入販売