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最終更新日:2023年11月08日

長野計器株式会社
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極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測!全レンジ50kPaの高耐圧を実現したセンサ

半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造プロセスにおける<空気調和システム>.PNG

半導体製造プロセスにおける圧力計測機器<空気調和システム>

半導体製造プロセスにおける<空気調和システム>.PNG
半導体製造プロセスにおける<空気調和システム>.PNG
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人間の頭脳にあたるコンピュータの進歩は著しいものがありますが、 人の五感にたとえられるセンサの進歩は決してそれに匹敵しているとはいえません。 センサの進歩は、新しい文化を創造し、私達の未来を開く 重要な課題であると長野計器は考えています。 プロセス計装の分野における、圧力・温度・計測機器で多くの実績と 信頼をいただいていますセンサ技術とメカトロニクス技術をさらに ファクトリー・オートメイション、自動車産業・情報・通信分野等へと 駆使し、新たな用途分野に適合する「センサ」「アクチュエータ」 「制御機器」への製品開発に取り組んでいます。

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