当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユニット』のご紹介
当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。 液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている 焼成ユニットを異業界に展開。 手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、 好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。 【特長】 ■省スペース化 ■低発塵対応 ■高い温度再現性、面内温度均一性 ■お客様のご要望に合わせた装置製作 【仕様】 ■温度性能 ： 0-200℃ ■温度精度 ： 150℃±3℃ ■ワークサイズ ： 4～12インチウエハ ■方式 ： ホットプレート方式（基板支持：プロキピンorリフトピン）
この製品へのお問い合わせ
基本情報
※お気軽にお問い合わせ下さい。
用途／実績例
※お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
SCREENグループは創立 80 周年を迎えました。 1943年の設立以来、皆さまから多くのご支援を賜り、 2023年10月11日、SCREENグループは80周年を迎えました。 心から感謝申し上げます。 創造と発展に挑み続ける精神を胸に、これからも進化し続けてまいります。
