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【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

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最終更新日:2023年12月04日

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お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能!複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。 2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。 【特長】 ■低圧プラズマ解析が得意 ■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体の  シミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能 ■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意 ■2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能 ■自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

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【さまざまな計算結果を出力】 ■ポテンシャル分布 ■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【さまざまな事例に対応】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ (CCP) ■誘電体バリア放電 (DBD) ■電気泳動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社は、各種プラント、工場等の設備・資産を管理・運営するための「設備保全 管理システム」を開発・販売しています。 現在、このシステムは、センサー情報やタブレット端末からの入力情報等のIoT 技術および機械学習等のAI技術を利用した故障予知機能や自動スケジューリング機能を有するシステムへと大きく進化する 過程にあります。 また、最近のDXの流れの一環で、工場の製造プロセスおよび研究開発の現場での デジタル化・自動化を行い現場の作業を効率化しようという流れが強まっています。 当社もこの流れの中で、研究開発の現場の効率化を目指すソルーションであるラボ管理システムLIMS(Laboratory Information Management System、ワークフローとデータ追跡・データ管理・データ分析・および電子実験ノート統合などの機能を備えた、ソフトウェア)の提供をしています。

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