プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています！
「インテグレータレンズ」は、照射面への照度の均一性を高めるために 用いるレンズ(光学系)の総称です。 代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、 ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。 プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも 用いられています。 【代表的なレンズ】 ■フライアイレンズ(フライアイインテグレータ) ■ロッドレンズ(ロッドインテグレータ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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夏目光学株式会社は、光学専門メーカーとして光学素子『シリンドリカルレンズ』や『球面レンズ』『プリズム』などを取り扱っております。また、この他にも各種画像処理装置の開発・設計・販売を行っております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。