汚れや傷がつきにくい!レジストに紫外線を照射し、パターンを形成
プロキシミティ露光とは、半導体や液晶などの製造に使われる技術の一つです。 レジスト(光感性樹脂)に紫外線を照射し、パターンを形成します。 その際、レジストとフォトマスク(パターンを形成するための板)の 間に微小な隙間を設け、レジストに光を届けることで、細かなパターンを 形成します。 【メリット】 ■マスクとワークが接触しないため汚れや傷がつきにくい ■フォトリソグラフィーと比較してパターン形成に必要な時間が短くて 済むため生産性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■半導体や液晶などの製造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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夏目光学株式会社は、光学専門メーカーとして光学素子『シリンドリカルレンズ』や『球面レンズ』『プリズム』などを取り扱っております。また、この他にも各種画像処理装置の開発・設計・販売を行っております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。