当社で行っている「イオン源蒸着」「PCVD」「FAD」について説明いたします!
DLCの成膜には、PVD(物理蒸着)や、CVD(化学蒸着)などの技術が用いられます。 イオン源蒸着は、フィラメントを加熱し、熱電子により炭化水素ガスを イオン化させ、電位差をつけた処理物に衝突させてコーティングする、 PVDの一種です。 PCVD(プラズマ化学蒸着)は、プラズマ領域でイオン化させた炭化水素ガス を、電位差をつけた処理物に衝突させて、コーティングします。 FAD(フィルタードアーク蒸着)は、磁場によるフィルターでイオン化 されたカーボンのみを処理物に引き込み、成膜します。 【当社で行っている成膜方法】 ■イオン源蒸着 ■PCVD(プラズマ化学蒸着) ■FAD(フィルタードアーク蒸着) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
オンワード技研は、DLC・セラミックコーティングの表面処理のエキスパート企業です。 前処理〜受託加工〜品質保証、膜の研究開発を一貫して行います。 【膜も成膜装置も自社開発】 業界でも数少ないコーティング装置と膜の両方を自社開発できる高い技術力が当社の大きな強みです。製品ごとの特性に合わせた膜を研究開発し、最先端技術をご提案しています。(特許21件保有) 【膜の取扱数は業界最多級全22種】 セラミックス膜14種、DLC膜8種の豊富な取り扱い数は業界トップクラス。 【Class10000クリーンルーム】 Class10000のクリーンルームを完備(本社工場)。電子部品業界向けの精密金型など、高品質が求められるDLCコーティングの対応ができます。 2025年「医療機器製造業許可」を取得、医療分野向けにも対応。 【コーティング前後3回の全数検査で徹底した品質管理体制】 高品質な膜を維持するため、コーティング前後に、拡大鏡・電子顕微鏡を用いて全数検査を行っています。 【少量多品種の生産で1品から受託可能。】 少量多品種生産だからできる丁寧なお取り扱いも当社のこだわりです。













