電子ビーム描画・検査・SEM装置で描画・観察しながらコンタミ付着を防止・クリーン化します
PARAMでは『真空用オゾン供給器・除害器』の製造販売を行っております。 「供給器」は、微量オゾンを真空中に精度よく導入可能。 クリーニングのために装置を停止する必要がありません。 また「除害器」は、小型、高コンダクタンスで、パーティクル発生の少ない 製品となっております。 そのほか詳細につきましては、お問い合わせください。 【特長】 ＜EB装置用オゾンガス供給機＞ ■パーティクルが発生せず、窒素フリーで高濃度オゾンが生成できる ■微量のオゾンガスを精度よく装置に導入できる ■クリーニングのために装置を止める必要がない ■低ノイズで、EB装置の近くに設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ＜真空用オゾン除害器 OZ-1000＞ ■小型 ■オゾン処理能力を高めることに成功 ■用途に応じて2機種のモデルを用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティングを行っている会社です。永久磁石を用いたマルチコラム技術・高輝度均一照射長寿命電子銃・プログラマブル形状可変ビーム（PSB)などのコア技術開発を通してデバイス開発製造をとおして社会の発展に貢献していきます。
