クラスタ化により100WPHも実現可能。ステップアンドショット方式の露光を行います
PARAMでは『電子ビーム高速描画システム』を取り扱っております。 当社が提案する「マルチコラムマルチビーム方式」の製品は、 マトリクス状に形成された微小開口と偏向電極からなるPSAにより PSBを生成するマルチビーム方式を採用し、ステップアンドショット方式の 露光を行います。 そのため、ステージ連続移動方式に比べ、高い描画精度が期待できます。 【特長】 ＜マルチコラムマルチビーム方式 Multi-axis PSB＞ ■ピッチ26×33mmで87本のマルチコラムを実現 ■スループットは、描画パターンのサイズ・ピッチに依存：10～16WPH ■クラスタ化により100WPHも実現可能 ■ステージ連続移動方式に比べ、高い描画精度が期待できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティングを行っている会社です。永久磁石を用いたマルチコラム技術・高輝度均一照射長寿命電子銃・プログラマブル形状可変ビーム（PSB)などのコア技術開発を通してデバイス開発製造をとおして社会の発展に貢献していきます。