真空蒸着装置試験システムの納入事例をご紹介
真空蒸着の技術開発のため、真空蒸着装置関連のデータのモニタリング用と して使用されており、「ウエーブリサーチャー」と横河電機株式会社の データアクイジションシステム「MXシリーズ」を使用して、温度、真空度、圧力、 ヒーター電圧、電流等のデータを最短100msで計測し、装置の稼動状況と データ解析を行うシステム納入事例をご紹介します。 真空蒸着装置の稼動状態を「MXシリーズ」で計測し、蒸着速度の向上や膜厚 の均一化のための条件について調査しています。 【事例概要】 ・温度、真空度、圧力、ヒーター電圧、電流等のデータを最短100msで計測 ・装置の稼動状況とデータ解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【システム概要(一部)】 ＜測定データ＞ ■各部温度 ■真空圧 ■ガス流量 ■水量 ■水温 ■電圧 ■電流 ■電力等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ハビリスは長年における計測制御関連のソフト開発で培った業務ノウハウを活かして、簡単でコストパフォーマンスの高いデータ収集・制御・解析システムを開発・販売しております。 特に計測機器メーカである横河電機、ＴＥＡＣとタイアップして、各種測定機器とフィットしたパッケージを開発、販売しております。又、お客様毎に変わる業務内容をお聞きして、有償でコストパーフォマンスの高いカスタマイズサービスを実施しており、好評をいただいております。
