材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされたウエハをご提供します
ティーイーアイ ソリューションズでは『テストウエハ』を取り扱っております。 材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされた 製品をご提供。当社所有のマスクパターンをご利用頂けるほか、御社の ご要望により、新規パターン・構造を開発致します。 また、シリコン基板以外のウエハにも対応が可能ですので、お気軽に ご相談ください。 【製品詳細(一部)】 ■ブランケット膜ウエハ：熱酸化膜、LP-TEOS、P-SiO2、P-TEOS など ■パターニングウエハ：L/Sパターン、Holeパターン など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【φ200mm – パターンウエハの例】 ■Alパターン：Via径φ800nm ■Alパターン：線幅0.35um ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
ティーイーアイ ソリューションズ株式会社は、研究開発支援を提供するインテグレーテッドファンウドリーです。 ナノテクノロジー、バイオテクノロジー、太陽電池、クリーンエネルギーなど、半導体技術を応用し、様々な分野の研究開発が可能です。 柔軟なビジネスモデル・厳密な情報管理・顧客第一主義を基本理念として、お客様の長期に渡るビジョンをサポートしていきます。