あらゆる単結晶に対応 Flagship X-ray Orientation
●わずか10秒の高速測定 ●高精度測定<0.003°/<0.03°(1σ) ●試料水平型ゴニオメーター搭載 ●結晶方位・Φスキャン・ロッキングカーブ測定 ●モノクロメーター等の拡張光学系オプション ●ウェハー方位チェック及びマッピング
この製品へのお問い合わせ
基本情報
単結晶用X線結晶方位測定装置
価格情報
お問合せください。
価格帯
5000万円 ~ 1億円
納期
用途／実績例
半導体 結晶方位測定 対象原料 Si,Ge,SiC,GaN,AIN,GaAS,Qartz等
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
粒子計測装置とX線分析装置を提供する、Malvern Panalytical（マルバーン・パナリティカル）社の日本事業部です。東京と神戸を拠点に国内計6ヶ所の営業所、２ヶ所のアプリケーションラボラトリにて、粒子計測・X線分析装置の販売やサービス、サポート業務をはじめ、各種セミナーなどのイベントも行っています。 粒子計測や熱分析（カロリメトリ）などの製品を持つMalvern社と、X線回折や蛍光X線分析装置メーカーであるPanalytical社が2018年に統合し誕生いたしました。各分野のリーディングカンパニーである両社の統合により、R&D、プロセスコントロール、品質管理、材料特性分析に携わる幅広い業界のお客様へ、最先端のソリューションをご提供いたします。
