ウエハーに直接埋め込まれた温度センサーにより、直接イン・シチュウエハー温度測定が可能になります
センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、 センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、 ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態を含む完全な熱サイクルの温度変化を連続的に監視することができます。
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基本情報
【認証】 ■ ILAC / ANAB 認証サービス ■ ISO9001& ISO17025 【仕様】 ■ ウエハサイズ：2 ”~12” & カスタムウエハ ■ 温度幅：- 200°C ~1200°C ■ 線精度：± 1.1 C or ±0.4%(K type) 以下 ■ センサ数：1 ~34Points ■ 絶縁：シリカスリーブ、石英マイクロチュービング ■ コネクタ：2 ピンミニプラグ& D-サブ
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション】 ■ RTP ■ リフロー ■ オーブン ■ CVD ■ ホットプレート ■ PVD ■ スパッタ ■ その他のアプリケーション
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企業情報
半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品も提供。また、過剰装置の買取お及び移設・撤去も対応可能です。スタッフが在住しているため、アジアを中心とした海外でのサポートもご相談ください。経験を駆使して、お客様の生産業務を総合的にサポートいたします。