日常点検の負担を軽減しました。 小型化・軽量化・LCD表示で見やすくなったガス検知部です。
●センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部 ●校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要 ●NF3検知に対応 ●Modbus(RS-485/Ethernet)に対応※Ethernet通信はPoEに対応 ●CE規格、SEMI規格適合
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基本情報
●サンプリング流量の自動制御・目詰まり警報機能付き（特許登録済） 日常点検時の流量チェックが不要になります。 フィルターの目詰まりで配管抵抗が増えても自動的に所定量に戻します。 目詰まり警報が発生した場合はお知らせします。 ●LCD表示で状態が一目瞭然 LCD表示部で、使用時のガス濃度、警報状態、エラーメッセージ等をわかりやすく表示。 機器の状態が一目でわかります。
価格帯
納期
用途／実績例
ガス検知警報器
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