すべての機能をリモートで制御!無制限の数のレシピをパソコンに保存可能
『KV-100』は、排気口径50mmのパウダーフィルター付き排気ポンプを 内蔵したスプレー熱分解堆積装置です。 スプレーノズルは電動XYステージに取り付けられており、 特殊なスプレーラインパターンを利用して均一なフィルムを生成。 自動シリンジポンプを備えた当製品の液体供給システムにより、 ユーザーは正確な噴霧速度と液体の総量を初期パラメータとして 設定できます。 【特別な機能】 ■移動式スプレーノズル ■噴霧量制御 ■リモコン操作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【新機能(一部)】 ■入力および出力ダストフィルターを備えた内蔵排気ポンプ ■フロントパネルのキーパッドとLCDを使用して操作パラメータを簡単に設定可能 ■最大9セットの異なるフィルム作成レシピをメモリに保存できる ■パソコンから遠隔操作可能 ■各スプレーのスプレー速度と量、総量がLCDに表示 ■自動初期化および終了機能:最初にチューブから空気を除去し、最後に化学物質を排出 ■自動クリーニング機能:ユーザーがシステムをクリーニングできるように支援 ■基板とヒーターの温度、および噴霧空気の圧力は、別のLCDに表示 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【アプリケーション】 ■多孔性・緻密性薄膜形成 透明導電性酸化膜(ITO、FTO、AZO、ATO等) ■その他機能性膜(TiO2、ZnO、SnO2、Cu2O、SnS等) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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大学在職中に手掛けた化学的薄膜形成技術の実用化を目指して当研究所を設立しました。関連装置の製作と合わせて、この技術によって作製した各種薄膜を部材とするエネルギー供給と環境保全に役立つ新規色素増感太陽電池システムの開発を目指しています。製品はいずれも世界最高水準を達成させる所存です。