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浮上式 基板搬送装置

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最終更新日:2025年02月07日

合同会社ポーラス・コーポレーション 開発室
合同会社ポーラス・コーポレーション 開発室
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基板はポーラス・PEプレート上にセット!基板両面検査の場合でも基板の反転不要

当社で取り扱っている「浮上式 基板搬送装置」についてご紹介いたします。 材質は、超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE)を使用しており、平均孔径は Min2μm~Max80μm、気孔率は35%~40%。 また、空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリークする帯電 防止方式で、耐熱温度は、連続90℃となっております。 【仕様(一部)】 ■材質:超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE) ■平均孔径:Min2μm~Max80μm ■気孔率:35%~40% ■平坦度:10μm ■帯電防止方式:空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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浮上式 基板搬送装置

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基本情報

【その他の仕様】 ■耐熱温度:連続90℃ ■密度:0.94g/cm3 ■最大寸法:1,000mm×1,000mm×8t~ ■ケース材質:SUS Al ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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2025-3-25 (PO3)光透過型ポーラスチャック

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2025-3-25 (PO5)ポーラス方式基板浮上搬送装置

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2025-3-25 (PO6)ポーラス ローラー

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2025-3-25 (PO-7) バラ分散供給フィーダー

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当社は、超高分子量ポリエチレン製ポーラス材を利用した、微小部品の 吸着浮上搬送システムを開発、製造、販売を行っている会社です。 微小部品に配慮したエア搬送システムを創出。また、デモ機により 対象ワークの流動性等をご確認いただけます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。

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