既存の製造装置への組み込みも可能ですので、お気軽にご相談ください！
『PX-08001-A』は、CGH(Computer Generated Hologram)を用いた 非接触型の精密自由曲面鏡の形状計測装置です。 CGH干渉計とハルトマン法の2つの原理を組み合わせることによって、 一般的な干渉計やシャックハルトマンセンサーでは不可能であった、 広い測定ダイナミックレンジ(0.01μm～100μm)での測定を実現。 例えば、大型光学素子の製造工程において徐々に面精度を詰めていく 場合において大きな威力を発揮します。 【仕様】 ■方式：1.CGH干渉計方式、2.ハルトマン法 ■測定波長：633nm ■射出ビーム径：φ50nm(0次光) ■測定ダイナミックレンジ：0.01μm〜100μm ■オプション：平面測定用CGH、曲面測定用CGH ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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