InnoLas社で開発されたウェーハマーキング用レーザー光源は、10年程度使い続けられる（実績値）低廉なランニングコストを実現。
マーキング可能なウェーハ素材： シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、サファイヤ(Al2O3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム（LiNbO3）、ガリウム砒素8GaAs)、窒化ガリウム(GaN)、炭化シリコン(SiC)、リン酸インジウム(InP)、ガラス等、様々なウェーハ素材に対応する為、下記のレーザーをご用意しています。 ・UV(355nm)、グリーン(532nm)、IR(1064nm)、IR,炭酸ガス(10.6μm)をご用意しています。 オプション ・電動ビームエキスパンダー (MBE) : レシピのデーターに合わせてビーム 径、焦点位置等を調整。 ・消費電力等表示パネル (DCM) : ライン電源、ガルボ 電圧/温度、圧縮空気 圧等を一か所に集約して表示。 ・その他、ユーザーフレンドリーな多彩なオプションをご用意。
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基本情報
ソフトマーク ハードマーク ・ドット形成原理 溶融 蒸発 ・直径 55～70μm 85～110μm ・深さ 0.5～4μm 5～100μm 型式別_スループットと対応ウェーハサイズ： ・IL 1000 100枚/時 サイズ：2”, 2.25”, 3”, 3.25”, 100, 125, 150, 200mm ・IL 2000 200枚/時 サイズ：2”, 2.25”, 3”, 3.25”, 100, 125, 150, 200mm ・IL 3000 160枚/時 サイズ：300mm ・IL C3000 120枚/時 サイズ：300mm ＊尚、上記のスループットは、以下の条件に拠るものです。 「文字サイズ 10 x 18をダブルデンシティで12文字を印字した場合」
価格帯
納期
用途／実績例
国内大手ウェーハメーカー、デバイスメーカーで実績あり。
詳細情報
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FOUPタイプ：OHT, AGV, PGV対応可能 装置寸法：W2,092 x D1,648 x H2,196 重量：1,500kg 消費電力：2,000W ハンドリング：エッジグリップハンドリング ダブルアーム（HT仕様）
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オープンカセットタイプ： 装置寸法：W2,003 x D1,425 x H1,819 重量：1.200kg 消費電力：1,500W ハンドリング：バキュームハンドリング シングルアーム
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| IL 600 | ウェーハを手動で装着させる廉価版ウェーハマーキング装置。研究開発用として好適。 |
| IL 1000 | 多品種少量生産用ウェーハマーキング装置。200 mmウェーハサイズまで対応可能。オープンカセットタイプ。 |
| IL 2000 | 200 mmウェーハ量産型マーキング装置。オープンカセットタイプ。 |
| IL 3000 | 300 mmウェーハ量産型マーキング装置。オープンカセットタイプ。 |
| IL C2000 | 200 mmウェーハ量産型マーキング装置。FOUPタイプ。 |
| IL C3000 | 300 mmウェーハ量産型マーキング装置。FOUPタイプ。 |
企業情報
弊社は、兼松株式会社のグループ企業として、1982年に、海外から輸入された半導体製造設備の販売及びメンテナンスサービスを専門とする技術商社としてスタート致しました。昨今は、お客様の幅広いご要望にお応えする為に、製造設備のみならず、部品、部材、サブシステムなどの海外製品をお客様にご安心してお使い頂けるよう心掛けてまいりました。 商社でありながら、企画、開発、設計、製造を担当する技術部の充実を図り、技術的なトータルソリューションをご提案し、国内外のお客様へビジネスをグローバルに展開しております。 今後、新たな付加価値やサービスをエレクトロニクス技術商社としてご提供し、お客様と共に成長する企業であり続けたいと考えております。
