エッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐プラズマ性・密着性に優れた「イットリア」を提供
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向け、検査用ダミーウエハ向けの他、 エッチング工程向け、CVD工程向けをご用意 ■イットリアは、φ330までの焼結材部品を提供可能。 溶射したときは気孔率1％以下を実現できます ※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧ください。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
当社は、「低コスト」「短納期」「高品質」「高純度」などの幅広いニーズにお応えするために、 さまざまな用途・環境で活用できるファインセラミックス製品をご提案いたします。 熱の特性(熱伝導性)、異物に関する特性(パーティクル低減)などで お困りの方は、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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CHIYODAにはものづくりに欠かすことのできない装置部材から修理サービス、環境貢献商品まで、製造業のお客さまであれば、必ずなんらかの形で貢献できる商品ラインナップがあります。
