多彩なオプションに対応した、高真空蒸着装置です。
一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。 ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。 パネルの EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル＋プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。 VE-2050 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。
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基本情報
●電源：ＡＣ１００V（アース線付き単相１００V１５A） ●装置サイズ：幅５３４ｍｍ、奥行き６７５ｍｍ、高さ１１３４．５ｍｍ （装置重量８０ｋｇ）、２輪ストッパー付キャスター装備 ●真空排気系：TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min) ●到達真空度：5×10-4Pa 以下 ●真空度測定：フルレンジ真空計 ●真空槽：内径 200mm×高さ 248mm、ICF70 サービスポート１口標準搭載 ●試料ステージ：直径 58mm 水平試料台(標準装着) ●加熱用電極柱：2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。 ●絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。 タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。 ●ヒータ電源：最大電流 80A(標準ボート使用時) ●蒸着可能面積：柱利用、上からの蒸着時＝直径 90mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで ●安全対策：停電時/全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。 ●停電回復時/真空系統は停止状態を保持。初期の状態で復帰。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。