接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【耐薬品性】 ■フッ化水素 ■塩化水素 ■ヨウ化水素 etc ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体 ■製薬、化学 ■高機能材 ■非鉄金属、無機 ※腐食性ガスを用いる装置全般 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
表面処理は一般に素材表面の性質を高めるために行われる機械工作法の一種ですが、当社では各種コーティングを柱に、研磨、メッキ、熱処理、溶射、蒸着、広い視野で、さまざまなテーマに挑戦します。