「PLAZMARK 耐熱ラベル」を使用してArプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較
ウエハを隙間を設けて設置し、その隙間に侵入する活性種の動きを、 ウエハ裏面に貼り付けた「PLAZMARK 耐熱性」のNo.101で評価した 技術データをご紹介いたします。 Arプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較し、O2プラズマ処理はウエハ 裏面側中心部まで変色したことから、回り込む長寿命の酸素ラジカルの 存在が示唆。 また、Arプラズマ処理はウエハ裏面は変色しなかったため、 Arイオンは 裏面側には回り込まないと考えられます。 【放電条件】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ・Ar gas ＝ 5Pa,Power ＝80W,Time ＝60sec ・O2 gas ＝ 5Pa,Power ＝80W,Time ＝30sec ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社サクラクレパスは、大阪市中央区森ノ宮に本社を置く総合文具メーカーです。 創業当初から長年培った調色技術と、描画材料・筆記具・印刷インキの配合設計・工程設計で培われた界面化学分野の総合技術がサクラクレパスのコア技術です。 熱・光などのエネルギーや、滅菌・殺菌用ガスなど特定化合物との化学反応で変色するユニークなインキも開発しています。 また、チューブ類、マーカー・サインペン容器、ボールペン容器などのプラスチック成型・精密金属加工およびインキ充填も自社工場で行っています。
