液中パーティクルカウンター（半導体・ウェハー関連）
皆様はパーティクル プリカーサー（Particle Precursor）についてご存じでしょうか。 半導体の歩留まり（yield）を高めるうえでゴミや汚れを取り除く洗浄工程（Cleaning）は極めて重要であり、ファウンドリーでは洗浄に使用するUPWや薬液が綺麗であることをマストで管理しております。 今までは液中粒子（Particles）が歩留まり低下の要因とされ「20nmの粒がいくつ以下で」などと管理をしてきたのですが、ここ最近は粒子ではなくUPWや薬液に溶け潜み乾燥したら現れるコンタミが歩留まりに悪影響を与えていることが知られております。「液中ではカウントできなかったのに、ウエハ上ではベターっとシミのように存在を現す、、、」そのコンタミをパーティクルプリカーサーと言います。 微細化、集積化という言葉が飛び交う中、UPW（超純水）や薬液（IPA、水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸、PGME）中のパーティクルやプリカーサー管理にご興味を頂いたファウンドリー及びサプライヤーの皆様は一度お問い合わせくださいませ。
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基本情報
【仕様】 ■測定粒径：3, 9, 15nm 選択可能 ■粒径チャネル数：1～3 ■測定範囲：10E3～10E10 particles/mL ■総流量：50～280 mL/min ■電源（ネブライザー)：海外対応 100 - 240 VAC, 50/60Hz, 最大90W ■電源（CPC)：海外対応 100 - 240 VAC, 50/60Hz, 最大210W ■外形寸法 (W,D,H), 重量：42 x 43 x 27 cm, 16.1 kg ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
半導体（UPW）清浄度管理
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企業情報
当社の企業理念である“独創と革新に生きる”は、当社の創業理念でもある“独創に生きる”というコンセプトと、新経営体制の発足にあたり最も重要な概念として掲げた“革新＝イノベーション”の2つのアイデアを統合したものです。“独創”とは創造性の発露であり、大変心躍る言葉でもあります。 また、いわゆるオンリーワンの製品やサービス、技術を産み出すことでもあり、当社の存在意義として今後も未来永劫大切にしていってほしいという願いがこめられております。 “オンリーワン”を産み出すためにも、日々絶え間なき革新を続け“ナンバーワン”を目指し続けようというのが、企業理念に込められた想いです。