半導体業界の真空乾燥工程にて、バルブ開閉などの手動操作をタッチパネルで操作できるようにした事例！
精密部品製造業へ「手動操作装置」の操作・制御系の改造を行った 実績についてご紹介いたします。 PLCの制御系を追加して、バルブ開閉などの手動操作をタッチパネルで 操作できるようにに改造し、各種インターロックを導入。 改造箇所は、手動バルブを圧空式バルブへ変更、真空計の追加、排気、圧力、 ガスに関わるインターロックの導入、自動排気モードの導入(DP＋TMP立上げ からチャンバ排気まで)となります。 【実績概要】 ■改造内容 ・バルブ開閉などの手動操作部分をタッチパネルで操作出来る様に改造 ・PLC追加で可能となった各種インターロックの導入 ■改造箇所 ・手動バルブを圧空式バルブへ変更、真空計の追加 ■制御/操作：PLC/タッチパネル ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社では、CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、 加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の 要望に合わせて装置を設計、製造致します。 また、CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。 a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
