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3次元実装構造超伝導デバイスで大面積検出器を実現!

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ナノテク(埼玉大学研究シーズ集2025-25 p.112)

最終更新日:2025年03月31日

埼玉大学 オープンイノベーションセンター
埼玉大学 オープンイノベーションセンター
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キーワード: 超伝導検出器 X 線 中性子 高分解能 3 次元実装

 超伝導センサは、他のセンサでは実現できないような感度をもっています。感度が高いことは、つまり今まで見えなかったものが見えるようになる、ことを意味しています。性能に優れる超伝導センサですが、1 画素あたりの有感面積が小さいことが欠点として挙げられます。  それを克服するために、超伝導業界では殆ど取り組まれていない3 次元実装化に注目しました。3 次元実装とは、デバイスが集積された基板を縦方向に積層化することです。この利点は、通常であれば基板という平面、つまり2 次元空間内でしかデバイスを配置できなかったことが、高さ方向まで拡張できることにあります。単純な構造ではありますが、それを実現するのはなかなか手強く、日々学生達と議論しながら一歩ずつ研究を進めているところです。

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3次元実装構造超伝導デバイスで大面積検出器を実現!

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基本情報

田井野 徹(タイノ トオル) 准教授 大学院理工学研究科 数理電子情報部門 電気電子物理領域 【最近の研究テーマ】 ●超伝導検出器を用いたダークマター検出器の開発 ●超伝導検出器を用いた中性子検出器の開発 ●超伝導デバイスの3 次元実装に関する研究 ●超伝導検出器の理論限界への挑戦

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用途/実績例

【産業界へのアピールポイント】 ●高感度センサを、大面積かつ最小不感面積で実現 ●吸収体の選択により、様々なフォトンに対応可能 ●注目を集める超伝導量子コンピュータをはじめ、低温分野における3 次元実装への対応 ●特許に関しては現在出願中 【実用化例・応用事例・活用例】 ●テラヘルツ波を用いたセキュリティ用センサ ●中性子を用いたインフラ構造物非破壊検査 ●医療分野、食品分野における放射線検査

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    テーパー型貫通孔の断面図

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埼玉大学オープンイノベーションセンターは、産学官連携における リエゾンオフィスとしての機能を持ったセンターです。 産学官連携部門、知的財産部門、スタートアップ支援部門の3部門からなり、それぞれの 部門には、各種分野に精通したコーディネータを配置。 センターの活動としては、企業等における技術的課題の解決、 共同研究実施支援、埼玉大学の知的財産の紹介・活用に向けた 技術移転等を行っております。

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