広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能！
当社で行う「レジストパターンの断面形状観察」についてご紹介します。 複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、 熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有する イオンミリング技術により、ダメージのない断面加工をすることで、 広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【特長】 ■3軸のイオン源を用いることで1軸のタイプよりも加工幅が広く、 複数のパターンの断面形状を確認できる ■冷却しながら加工することで、レジストにダメージを与えない ■形状の異なる方向から加工することにより、各々の断面形状を確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、受託分析サービスを展開している会社です。 2002年8月の創立以来、信頼性のある分析・解析技術と最新鋭の設備を駆使し、 半導体・液晶・金属・新素材を中核とした幅広いマーケットに最適な ナノレベルの微細加工、分析、解析、信頼性評価、環境安全化学分析、 サービス・ソリューションを提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。