In-Plane XRDによる薄膜の結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定が可能！
当社で行う「薄膜X線回折(XRD)」についてご紹介します。 数nmレベルの薄膜の結晶構造同定に加え、X線反射率測定による 多層膜の膜密度・膜厚・粗さの解析も可能。 平行性の良いX線を試料に極浅い角度で入射させることで、X線の 侵入深さを極めて浅くすることができ、In-Plane XRDによる薄膜の 結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定ができます。 【特長】 ■In-Plane XRD(面内回転測定) 数nmレベルの結晶性薄膜の評価 ■XRR(X線反射率測定) 膜密度・膜厚・(表面・界面)粗さの評価 ■一般的な薄膜法(θ固定2θ走査)も対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、受託分析サービスを展開している会社です。 2002年8月の創立以来、信頼性のある分析・解析技術と最新鋭の設備を駆使し、 半導体・液晶・金属・新素材を中核とした幅広いマーケットに最適な ナノレベルの微細加工、分析、解析、信頼性評価、環境安全化学分析、 サービス・ソリューションを提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。