ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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【その他の掲載事例】 ■スパッタリングターゲットの磨耗量測定 ■真空チャンバ内アーム曲がり測定 ■モールド前のチップの高さ測定 ■XYステージの位置決め ■スピナーの偏心測定 ■ウェハの平行度測定 ■搬送フォーク上のウェハの位置測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
キーエンスは、ファクトリー・オートメーション（FA）の総合メーカーです。 1974年の会社設立以来、付加価値の創造こそが企業の存在意義であり、 付加価値の創造によって社会に貢献するという考えのもと、 今まで世の中になかった商品の提供を通じて、お客様の課題を解決すること、 新しい価値を生み出し続けること、にこだわり続けてきました。 現在ではFA用センサをはじめとする付加価値の高い商品が、 自動車・半導体・電子・電気機器・通信・機械・化学・薬品・食品など幅広い業界で採用され、 世界46ヵ国250拠点から35万社のものづくりに貢献しています。