ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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【その他の掲載事例】 ■スパッタリングターゲットの磨耗量測定 ■真空チャンバ内アーム曲がり測定 ■モールド前のチップの高さ測定 ■XYステージの位置決め ■スピナーの偏心測定 ■ウェハの平行度測定 ■搬送フォーク上のウェハの位置測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
○センサ/判別変位センサ ○変位計/寸法測定器 ○測定機/投影機/三次元測定 ○安全機器 ○画像処理システム/画像センサ ○流量センサ/圧力センサ/レベルセンサ ○データロガー/記録計 ○イオナイザ/静電気対策機器 ○PLC/モータ/タッチパネル ○レーザマーカ/産業用インクジェット ○マイクロスコープ/粗さ計/顕微鏡/形状測定機 ○投影機/測定顕微鏡/画像寸法測定器 ○バーコードリーダ/ハンディターミナル ○3Dプリンタ ○元素分析 ○業務自動化ソフト PRA ○データアナリティクス プラットフォーム