【無償】分析基礎セミナー開催！貴社の分析スキルアップにご活用ください
Smart CHARTは各種表面分析手法について、一目で分析領域と検出下限の関係がわかるようにEAGでデザインしたチャートです。表面分析手法が一望できるので、分析手法の種類を知りたい場合や分析手法を選択するときなどの目安に役立ちます。 ●無償の分析基礎セミナー開催 Smart CHARTにある分析手法をベースとした、オンライン形式の分析基礎セミナーを無償で開催しています。分析基礎セミナーでは各分析手法の原理・特徴および各手法から得られる分析結果について分かりやすくご説明いたします。 また、TEM/STEM （透過型電子顕微鏡分析）やSIMS（二次イオン質量分析）、PCOR-SIMS（Point by point Corrected 二次イオン質量分析法）といった分析手法の応用セミナーも無償開催しています。 セミナーはお客様ごとにアレンジして個別開催をしています。開催ご希望の際はお気軽に弊社までお問合せください。
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基本情報
●チャートの縦軸・横軸について 縦軸は濃度（右がatomic %、左がatoms/cm³）、低いほど高感度です。SIMS・GDMS・ICP-MS/MSは検出下限が低い分析手法です。横軸はビーム径による分析面積で、小さいほど微小領域を分析可能です。TEM/STEMは最も微小領域の分析に優れます。 ●縦軸の範囲外の手法について 縦軸範囲外のTEM/STEM・SEM等は形態観察手法で濃度を直接測れませんが、EDS付加で濃度情報を得られ縦軸内に表記。横軸範囲外右側のGDMS等は分析面積が広く、1cmφや粉末試料も分析可能です。 ●物理限界線について 図中の物理限界線は、分析体積が小さくなるほど検出原子数が減り、検出下限（物理限界濃度）が悪化することを示します。例えば10nm角3nm深さでは約1万原子のため、1原子検出で100ppmが物理的な限界となります。 ●チャートが示す色について チャートの色分けは、赤が化学結合・分子、青が元素、緑が画像情報を得る手法を示します。黄土色のXRRは膜厚と密度を同時取得でき、RBSも膜厚既知なら密度が得られます
価格帯
納期
用途／実績例
・材料分析について基礎を知りたい ・材料分析の選択への活用
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企業情報
材料分析でお困りの方、お気軽にEAGまでご相談ください！ ●高品質分析 ●短納期 ●迅速対応 ユーロフィンEAG（略称：EAG）は、40年以上にわたり半導体産業、高純度金属、先端・ナノ材料分野で材料分析サービスを提供してまいりました。半導体デバイス・製造装置のプロセス開発、研究開発、品質保証に不可欠なSIMS分析（二次イオン質量分析法）やTEM/STEM分析（透過型電子顕微鏡分析）、そして高純度材料の不純物分析に用いるGDMS分析（グロー放電質量分析法）においては、長年の技術蓄積と迅速な納期対応でお客様のニーズにお応えします。
