ウエハの汚染原因を推定することが可能です！
TOF-SIMSは、異物、付着物、汚れ、変色など、工程に起因する汚染の原因究明に非常に有効な手法です。 異物などの汚染から得られたマススペクトル情報を、汚染源候補の部品のマススペクトル情報と 比較することで、それら汚染源を推測することができます。 本資料では、Siウエハの異物とウエハ製造工程の中で使用する樹脂製チューブ4種を準備し、 そのマススペクトル情報を比較することで、異物がどの工程で使用する部品に 起因する汚染なのか評価しました。
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